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颗粒会引起芯片的短路或开路，半导体制造是一个多步骤的过程，每一步工序都会产生大量的颗粒，需要将晶圆表面的颗粒控制在极低范围内才能继续下一工序。晶圆级清洗剂在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色，其主要目的是去除晶圆表面的杂质、颗粒和化学残留，确保后续工艺的顺利进行。以下是晶圆级清洗剂的作用以及使用方法的详细介绍。
一、晶圆级清洗剂的作用
去除颗粒物：晶圆表面常常附着有微小颗粒，清洗剂能够有效去除这些颗粒，防止后续工艺中的缺陷。
去除化学残留：在光刻、刻蚀等工艺中，化学品的残留可能会影响晶圆的质量，清洗剂能彻底清除这些残留物。
改善表面状态：清洗后晶圆表面的粗糙度和光洁度会得到显著提升，为后续的薄膜沉积等工艺提供良好的基础。
提升产率：通过去除污染物，提高晶圆的加工质量，从而提升产品的良品率。
二、晶圆级清洗剂的使用方法
预处理：根据晶圆的具体状态，选择合适的清洗剂进行预处理，通常采用酸性或碱性清洗剂。
主要清洗：根据污染物类型，选择合适的清洗剂进行深入清洗。此步骤可使用超声波清洗或浸泡的方式。
温度控制：清洗剂的效果通常受温度影响，应在适宜的温度范围内进行清洗，通常在室温至60℃之间。
时间控制：清洗时间需根据具体清洗剂和污染物类型而定，通常在几分钟到数十分钟不等。
冲洗：使用超纯水或去离子水进行彻底冲洗，以去除残留的清洗剂，通常至少需冲洗几次。
干燥：清洗后需通过气体吹干或热风干燥等方式，确保晶圆表面无水渍和残留物。
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