一般而言,线切割结束的晶圆为尚粘附于梁的形态,且对线切割时粘附在晶圆上的研磨液和切屑实施清洗,如清洗不干净,会影响晶圆的后续工序和晶圆的质量,往往会需要使用切割清洗剂,保障下一道工序的进行。
切割清洗剂的产品特点:
1.无残留,易漂洗
2.低气味,不腐蚀,不污染环境
3.不腐蚀硅片,无白班、花斑、腐蚀等不良;
4.可快速清除线切割后的硅粉、残胶,氧化物和油污;
5.槽液使用寿命长,易维护,不漂油,不返沾油污
6.符合欧盟RoHS认证要求
切割清洗剂是一款由多种表面活性剂、助剂复配而成浓缩型水基清洗剂,具有优秀的润湿、渗透、络合能力,可快速清除硅晶片表面残留的硅粉、残胶,氧化物和油污,清洗后硅片表面无白班、花斑、腐蚀等不良。
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