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硅片行业清洗剂
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硅片清洗剂

希尔硅片清洗剂是针对性去除硅片表面的颗粒、有机物、金属离子等污染物的水基清洗剂,清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面,使其长期处于易清洗的物理吸附状态,并在表面形成保护层,防止颗粒的二次吸附,能有效提高外延或扩散工序的成品率,主要是应用于各种硅片切割与抛光后的清洗。

应用领域:用于半导体芯片、硅片、元器件、薄膜技术中的玻璃和金属表面浸渍、喷淋、超声波的清洗。


产品特点Product characteristics

硅片清洗剂应用

√ 清洗硅粉与颗粒物效果好,洁净度高

√ 对工件表面无腐蚀,不变色,无斑白点

√ 原液浓度高,槽液寿命长,可循环使用

√ 清洗效果好,无残留,不影响导电性能

√ 水基环保,无毒,无闪点,不燃不爆

√ 符合voc指标要求和欧盟RoHS认证

清洗除油快  不腐蚀  易漂洗  环保无味不伤手

理化指标Physical and chemical indicators

外观 无色至微黄色液体 密度 1.00-1.01g/L
pH 7-9(工作液) 安全 不可燃,无腐蚀
环保 无磷,不含卤素,符合欧盟RoHS要求

工艺流程Process flow

工艺流程

注意事项Precautions for use

  • 使用方式

    恒温浸泡清洗/超声波清洗/平面线清洗

  • 使用方法

    按比例稀释成工作液后,加热至50-60度,恒温浸泡5-10分钟,或超声波清洗2-3分钟。对于重污垢工件,延长清洗时间或使用多槽多次方式彻底清洗干净。

  • 工作液维护

    1、定期检查槽液温度、液位,及时补水及相应比例补加原液。

    2、按规定时间定期更换槽液。

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